压电移相器 ∣ PK1L158-016U

应用领域:显微镜、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选采用压电陶瓷驱动的Z向压电纳米定位扫描台,压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构J及柔性导向系统。

  • 运动方向: X / Z轴
  • 标称行程: 16 μm
  • 外形尺寸: Ø158×42.5 mm
  • 中空尺寸: Ø104 mm
  • 承载能力: 50N
  • 结构形式: 直驱结构
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产品型号

PK1L158-016U

PK1L158-016U-S

公差

备注

运动自由度

Z

Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

16 μm

16 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

20 μm

20 μm

±20%

-

分辨率

0.5 nm

0.5 nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.15%

typ.

-

空载阶跃时间

2 ms

5 ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

50 N

50 N

Max.

-

谐振频率

0g

800 Hz

800 Hz

±20%

Note 3

运动方向刚度

8 N/μm

8 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

120N / 50N

120N / 50N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+12

-20~+12

-

-

线缆长度

1.5 m

1.5 m

±10mm

Note 4

外形尺寸(DxH)

Ø158×42.5 mm

Ø158×42.5 mm

-

-

重量

1240 g

1240 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

-

-

Note尾缀带“S”的为闭环,尾缀为空为开环。

1. 指实际分辨率,为PCS211压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为PCS211压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp,则对应的压电平台的分辨率0.3nm)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率12%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


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