压电扫描台 ∣ PK3L80-080U

应用领域:显微镜、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选

  • 运动方向: X、Y、Z 轴
  • 标称行程: 80 x 80 x 80 μm
  • 外形尺寸: 80 × 80 × 24 mm
  • 中空尺寸: Ø35mm
  • 承载能力: 5N
  • 结构形式: 机构放大式
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产品型号

PK3L80-080U

PK3L80-080U-S

公差

备注

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

80 μm x 80 μm x 80 μm

80 μm x 80 μm x 80 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

110 μm x 110 μm x 110 μm

110 μm x 110 μm x 110 μm

±20%

-

分辨率

3 nm / 轴

3 nm / 轴

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.05% F.S. / 轴

typ.

-

线性度

-

  0.08% / 轴

typ.

-

空载阶跃时间

2 ms / 轴

15 ms / 轴

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

5 N / 轴

5 N / 轴

Max.

-

谐振频率

0g

(XYZ)240 Hz、190 Hz、150 Hz

(XYZ)240 Hz、190 Hz、150 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

200g

(XYZ)120 Hz、100 Hz、80 Hz

(XYZ)120 Hz、100 Hz、80 Hz

±20%

-

运动方向刚度

(XYZ)0.3N/μm、0.25N/μm、0.2N/μm

(XYZ)0.3N/μm、0.25N/μm、0.2N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

20N / 4N

20N / 4N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m / 

1.5 m / 

±10mm

Note 4

中空尺寸

Ø35mm

Ø35mm

-


外形尺寸(LxWxH)

80 × 80 × 24 mm

80 × 80 × 24 mm

-

-

重量

280 g

280 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

铝、

铝、

-

-

Note尾缀带“S”的为闭环,尾缀为空为开环。

1. 指实际分辨率,为PCM721S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为PCM721S压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp,则对应的压电平台的分辨率约1.3nm)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


图片关键词

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X轴∣ PK1L80-080U

图片关键词

X轴∣ PK1L80-160U

图片关键词XZ轴∣ PKWL80-080U

图片关键词XY轴∣ PK2L80-080U

图片关键词

Z轴∣ PKVL80-080U

图片关键词

Z轴∣ PKVL80-160U

图片关键词

Z轴∣ PKVL80-240U

图片关键词

XYZ轴∣ PK3L80-080U


数据手册
外形尺寸用户手册
三维模型技术手册

图片关键词NanoMotions-XYZ-PK3L80-080U-Datasheet.pdf

图片关键词NanoMotions-XYZ-PK3L80-080U-Customer-Drawing.pdf

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