压电平移台 ∣ PSVH30-010U

应用领域:显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用、半导体技术、光子、光纤定位

  • 运动方向: Z 轴
  • 标称行程: 10 μm
  • 外形尺寸: 30 × 30 × 29.2mm
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产品型号

PSVH30-010U

PSVH30-010U-S

公差

备注

运动自由度

Z

Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

10 μm

10 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

12 μm

12 μm

±20%

-

分辨率

0.35 nm

.35 nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.15% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.2%

typ.

-

空载阶跃时间

0.3 ms

1.5 ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

8 N

8 N

Max.

-

谐振频率

0g

2500 Hz

2500 Hz

±20%

Note 3

运动方向刚度

2N/μm

2N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

12N / 2N

12N / 2N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m / 

1.5 m / 

±10mm

Note 4

外形尺寸(LxWxH)

30 × 30 × 29.2mm

30 × 30 × 29.2mm

-

-

重量

80 g

80 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

-

-

Note

1. 指实际分辨率,为PCS211S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为PCS211S压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp,则对应的压电平台的分辨率约0.17nm)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


图片关键词

图片关键词X轴∣ PS1H30-005U

图片关键词


Z轴∣ PSVH30-005U

图片关键词

Z轴∣ PSVH30-010U

图片关键词XZ轴∣ PS2H30-005U



图片关键词

XY轴∣  PSWH30-005U

图片关键词

XYZ轴∣ PS3H30-005U


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