压电平移台 ∣ PS3H30-005U

应用领域:显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用、半导体技术、光子、光纤定位

  • 运动方向: X、Y、Z
  • 标称行程: 5 x 5 x 5 μm(闭环)
  • 外形尺寸: 30 × 30 × 42 mm
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规格型号1

PS3H30-005U

PS3H30-005U-S

公差8

运动轴

X、Y、Z

X、Y、Z

-

集成传感器

-

SGS

-

标称行程范围2@0~+120V

5 μm x 5 μm x 5 μm

5 μm x 5 μm x 5 μm

±10%

最大行程范围2(@-20~+150V)

7 μm x 7 μm x 7 μm

7 μm x 7 μm x 7 μm

±20%

分辨率3

0.05 nm

0.1 nm

typ.

最小移动步长4

0.2 nm

0.2 nm

typ.

线性误差

-

0.3 %

typ.

重复定位精度(全行程)

-

0.2 %

typ.

角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)

5 μrad

5 μrad

typ.

承载能力5

5 N

5 N

Max.

谐振频率(0g

(XYZ)150 Hz、200 Hz、230 Hz

(XYZ)150 Hz、200 Hz、230 Hz

±20%

运动方向刚度

1 N/μm

1 N/μm

±20%

运动方向推力/拉力

7N / 2N

7N / 2N

±20%

驱动机构

PZT

PZT

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

typ.

线缆长度6

1.5 m

1.5 m

±10mm

中空尺寸

-

-

-

外形尺寸(长×宽×高)

30 × 30 × 42 mm

30 × 30 × 42 mm

-

重量7

160 g

160 g

±5%

PZT&Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

本体材质

-

注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。

1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。

2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。

3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。

4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。

5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。

6.更长的线缆长度请咨询。

7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。图片关键词

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