压电平移台 ∣ PS1L60-500U

应用领域:显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用、半导体技术、光子、光纤定位

  • 运动方向: X轴
  • 标称行程: 500μm
  • 外形尺寸: 60 × 60× 15 mm
  • 承载能力: 1kg
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规格型号1

PS1L30-050U-S

PS1L40-100U-S

PS1L50-200U-S

PS1L60-500U-S

PS1L80-800U-S

PS1L100-1500-S

公差8

运动轴

X

X

X

X

X

X

-

集成传感器

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

-

标称行程范围2@0~+120V

50 μm

100 μm

200 μm

500 μm

800 μm

1500 μm

±5%

最大行程范围2(@-20~+150V)

60 μm

120 μm

250 μm

600 μm

950 μm

1800 μm

±20%

分辨率3

0.5 nm

1.0 nm

1.8 nm

4.5 nm

7 nm

13.5 nm

typ.

最小移动步长4

2.0 nm

3.5 nm

7.0 nm

17 nm

28 nm

50 nm

typ.

线性误差

0.2%

0.2%

0.2%

0.2%

0.2%

0.25%

typ.

重复定位精度(全行程)

0.05%

0.05%

0.05%

0.05%

0.05%

0.05%

typ.

角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)

10 μrad

10 μrad

10 μrad

10 μrad

15 μrad

20 μrad

typ.

承载能力5

10 N

10 N

10 N

10 N

10 N

10 N

Max.

谐振频率(0g

900 Hz

800 Hz

400 Hz

200 Hz

125 Hz

125 Hz

±20%

运动方向刚度

0.2 N/μm

0.2 N/μm

0.1 N/μm

0.1 N/μm

0.05 N/μm

0.05 N/μm

±20%

运动方向推力/拉力

10N / 8N

10N / 8N

10N / 8N

10N / 8N

10N / 8N

10N / 8N

±20%

驱动机构

压电陶瓷

压电陶瓷

压电陶瓷

压电陶瓷

压电陶瓷

压电陶瓷

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

typ.

线缆长度6

1.5 m

1.5 m

1.5 m

1.5 m

1.5 m

1.5 m

±10mm

中空尺寸

-

-

-

-

-

-

-

外形尺寸(长×宽×高)

30x30x12

40x40x15

50x50x15

60x60x15

80x80x17

100x100x22.5

-

重量7

120 g

180 g

210 g

250 g

400 g

1200 g

±5%

PZT&Sensor连接器

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

-

本体材质

-

注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。

1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。

2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。

3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。

4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。

5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。

6.更长的线缆长度请咨询。

7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。

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