压电物镜台 ∣ PFC-200U

应用领域:超分辨率显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、干涉测量、半导体测量技术、自动聚焦

  • 运动方向: Z轴
  • 标称行程: 200μm
  • 外形尺寸: Φ67 × 64.5 mm
  • 承载能力: 500g
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产品型号

PFC-200U

PFC-200U -S

公差

备注

运动自由度

Z

Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

160 μm

160 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

200μm

200 μm

±20%

-

分辨率

7.0 nm

7.0 nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.05% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.05%

typ.

-

空载阶跃时间

5ms

10 ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

5 N

5 N

Max.

-

谐振频率

0g

900 Hz

900 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

500g

330 Hz

330 Hz

±20%

-

运动方向刚度

1 N/μm

1 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

70N / 10N

70N / 10N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m

1.5 m

±10mm

Note 4

外形尺寸(DxH)

Φ67 × 64.5 mm

Φ67 × 64.5 mm

-

-

螺纹适配器

RMS, M25, M26, M27,M28, M32

RMS, M25, M26, M27,M28, M32

-

-

重量

680 g

680 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

铝、

铝、

-

-

Note

1. 指实际分辨率,为PCS211S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


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