压电扫描台 ∣ PK2L70-20U

应用领域:红外成像、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、微扫描

关闭
产品咨询
客服热线:021-54668263

规格型号

PK2L70-20U

PK2L70-20U-S

公差

运动自由度

X、Y

X、Y


传感器类型

-

Strain Gage


标称行程范围1@0~+120V

±8 μm(16μm)/轴

±8 μm(16μm)/轴

±10%

最大行程范围(@-20~+150V)

±10 μm(20μm)/轴

±10 μm(20μm)/轴


分辨率2

0.6 nm /轴

0.6 nm /轴

typ.

线性度

-

0.25%

typ.

重复定位精度

-

0.1%

typ.

承载能力3

10 N

10 N

Max.

谐振频率(0g

(XY)2000Hz

(XY)2000Hz

±20%

运动方向刚度

2 N/μm

2 N/μm

±20%

运动方向推力/拉力

40N / 40N

40N / 40N

±20%

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷


工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

typ.

线缆长度4

1.5 m

1.5 m

±10mm

中空尺寸

Φ26 mm

Φ26 mm


外形尺寸(长×宽×高)

70 ×70 × 16 mm

70 ×70 × 16 mm


重量5

180 g

180 g

±5%

PZT&Sensor连接器

LEMO

LEMO


本体材质

钢、铝

钢、铝


推荐控制器

标准产品

注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。欲了解更多信息,请与我们联系。

1.最大驱动电压为0~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V。

2. 分辨率为指实际最小移动步长,通过激光干涉仪测得的实际数据。(不是纹波计算出对应的分辨率所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

3.更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。

4.更长的线缆长度请咨询。

5.台体重量不包括线缆及连接器的重量。


图片关键词

电话咨询
邮件咨询
在线地图
QQ客服

沪公网安备 31010402000709号