PM6H60-S

产品应用:光纤光路调整,精密定位等领域

  • 运动方向: X、Y、Z、θx、θy、θz
  • 标称行程: 15x15x15μm,1x1x1mrad
  • 外形尺寸: 60x60x50mm
  • 承载能力: 500g
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产品型号

PM6H60

PM6H60-S

公差

备注

运动自由度

X、Y、Z、θx、θy、θz

X、Y、Z、θx、θy、θz

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

(XYZ)15 μm/轴、(θxθyθz)1 mrad/轴

(XYZ)15 μm/轴、(θxθyθz)1 mrad/轴

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

(XYZ)20 μm/轴、(θxθyθz)1 .5 mrad/轴

(XYZ)20 μm/轴、(θxθyθz)1 .5 mrad/轴

±20%

-

分辨率

(XYZ)0.5 nm / 轴、(θxθyθz)0.03 μrad/轴

(XYZ)0.5 nm / 轴、(θxθyθz)0.03 μrad/轴

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.15% F.S. / 轴

typ.

-

线性度

-

  0.2% / 轴

typ.

-

空载阶跃时间

1 ms / 轴

5 ms / 轴

typ.

Note 2

加载阶跃时间@500g

1 ms / 轴

20 ms / 轴

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

5 N

5 N

Max.

-

谐振频率

0g

(XYZ)2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz

(θxθyθz)3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz

(XYZ)2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz

(θxθyθz)3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz

±20%

Note 3

500g

(XYZ)170 Hz、170 Hz、530 Hz

(θxθyθz)135 Hz、135 Hz、300 Hz

(XYZ)170 Hz、170 Hz、530 Hz

(θxθyθz)135 Hz、135 Hz、300 Hz



驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m / 

1.5 m / 

±10mm

Note 4

外形尺寸(LxWxH)

60 × 60 × 50 mm

60 × 60 × 50 mm

-

-

重量

420 g

420 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

铝、

铝、

-

-

Note

1. 指实际分辨率,为PCM961S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


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