压电陶瓷纳米台

压电样本扫描台 ∣ PFR156-200U

压电样本扫描台 ∣ PFR156-200U

应用领域：超分辨率显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、干涉测量、半导体测量技术。压电显微扫描台是采用压电陶瓷驱动,基于高精度无摩擦柔性铰链导向结构,专为高分辨率显微扫描系统应用设计的纳米定位平台,超大中心通孔和超薄外形设计,可更好的集成于显微扫描系统中。

运动方向： Z轴
标称行程： 200μm（闭环）
外形尺寸： 237×156×15mm
中空尺寸： 142×110mm

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产品特点
规格参数

产品型号		PFR156-200U	PFR156-200U-S	公差	备注
运动自由度		Z	Z	-	-
传感器类型		-	Strain Gage	-	-
标称行程范围（@0~+120V）		200 μm	200 μm	±10%	-
最大行程范围（@-20~+150V）		240 μm	240 μm	±20%	-
分辨率		7 nm	7 nm	typ.	Note 1
重复定位精度		-	0.05% F.S.	typ.	-
线性度		-	0.05%	typ.	-
空载阶跃时间		5 ms	10ms	typ.	Note 2
承载能力（推荐）		10 N	10 N	Max.	-
谐振频率	0g	340 Hz	340 Hz	±20%	Note 3
谐振频率	200g	200 Hz	200 Hz	±20%	-
运动方向刚度		1.5 N/μm	1.5 N/μm	±20%	-
运动方向推力/拉力		50N / 20N	50N / 20N	±20%	-
驱动方式		压电陶瓷	压电陶瓷	-	-
工作温度范围		-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-	-
线缆长度		1.5 m/轴	1.5 m/轴	±10mm	Note 4
中空尺寸(LxW)		142×110mm	142×110mm	-
外形尺寸(LxWxH)		237×156×15mm	237×156×15mm	-	-
重量		700 g	700 g	±5%	Note 5
PZT & Sensor连接器		LEMO	LEMO	-	Note 6
本体材质		铝、钢	铝、钢	-	-

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