应用领域：3D图像、活细胞成像、自动对焦系统、表面分析、晶圆检查
产品型号 | PFR156-200U | PFR156-200U-S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | Z | Z | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 200 μm | 200 μm | ±10% | - | |
最大行程范围（@-20~+150V） | 240 μm | 240 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 7 nm | 7 nm | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
线性度 | - | 0.05% | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 5 ms | 10ms | typ. | Note 2 | |
承载能力（推荐） | 10 N | 10 N | Max. | - | |
谐振频率 | 0g | 340 Hz | 340 Hz | ±20% | Note 3 |
谐振频率 | 200g | 200 Hz | 200 Hz | ±20% | - |
运动方向刚度 | 1.5 N/μm | 1.5 N/μm | ±20% | - | |
运动方向推力/拉力 | 50N / 20N | 50N / 20N | ±20% | - | |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸(LxW) | 142×110mm | 142×110mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 237×156×15mm | 237×156×15mm | - | - | |
重量 | 700 g | 700 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - | - | |
