压电扫描台 ∣ PKVL185-200U

应用领域:微纳技术、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选

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产品型号

PKVL185-200U

PKVL185-200U-S

公差

备注

运动自由度

Z

Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

200 μm

200 μm

±5%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

240 μm 

240 μm 

±20%

-

分辨率

7 nm

7 nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.02% F.S. 

typ.

-

线性度

-

  0.02%

typ.

-

空载阶跃时间

5 ms

25ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

30 N

30 N

Max.

-

谐振频率

0g

320 Hz

320 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

200g

260 Hz

260 Hz

±20%

-

运动方向刚度

2 N/μm

2 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

60N / 20N

60N / 20N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

0~+50 ℃

0~+50 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

中空尺寸(LxW)

100 x100 mm

100 x100 mm

Max.


外形尺寸(LxWxH)

185 ×185 ×30mm

185 ×185 ×30mm

-

-

重量

1200 g

1200 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

-

-

Note尾缀带“S”的为闭环,尾缀为空为开环。

1. 指实际分辨率,为PCM931S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。

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