采用压电陶瓷驱动的Z向压电纳米定位扫描台，压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
产品型号 | PT4V150-400S | PT4V150-400S-S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | Z, θX, θY | Z, θX, θY | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
Z轴标称行程范围（@0~+120V） | 200 μm | 200 μm | ±10% | - | |
θX, θY轴标称行程范围（@0~+120V） | 2 mrad（± 1 mrad） | 2 mrad（± 1 mrad） | ±10% | - | |
Z轴分辨率 | 7 nm | 7 nm | typ. | Note 1 | |
θX, θY轴分辨率 | 0.7 μrad | 0.7 μrad | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
线性度 | - | 0.05% | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 10ms | 30 ms | typ. | Note 2 | |
承载能力（推荐） | 25 N | 25 N | Max. | - | |
谐振频率 | 0g | 350 Hz | 250 Hz | ±20% | Note 3 |
谐振频率 | 500g | 210 Hz | 210 Hz | ±20% | - |
运动方向刚度 | 1.5 N/μm | 1.5 N/μm | ±20% | - | |
运动方向推力/拉力 | 100N / 50N | 100N / 50N | ±20% | - | |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | 0~+50 ℃ | 0~+50 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸 | 66 x 66 mm | 66 x 66 mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 150×150×30 mm | 150×150×30 mm | - | - | |
重量 | 1420g | 1420g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - | - | |
Note：尾缀带“S”的为闭环，尾缀为空为开环。
1. 指实际分辨率，为PCS211S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。（另，驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率，因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。）。
2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。
3. 为压电纳米定位系统共振频率，使用时应避开此频率，建议在负载对应的谐振频率80%下使用。
4. 线缆长度可定制。
5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。
6. 可定制连接器型号。
注：以上规格参数基于实验室环境测得。
