压电偏摆台 ∣ PT4V150-200S

采用压电陶瓷驱动的Z向压电纳米定位扫描台,压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。

  • 承载能力: Z, θX, θY
  • 结构形式: (Z)100 μm(θX, θY)1 mrad
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产品型号

PT4V150-200S

PT4V150-200S-S

公差

备注

运动自由度

Z, θX, θY 

Z, θX, θY 

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

Z轴标称行程范围(@0~+120V)

100 μm

100 μm

±10%

-

θX, θY轴标称行程范围(@0~+120V)

1 mrad(± 0.5 mrad)

1 mrad(± 0.5 mrad)

±10%

-

Z轴分辨率

3.5 nm

3.5 nm

typ.

Note 1

θX, θY轴分辨率

0.3 μrad

0.3 μrad

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.05% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.05%

typ.

-

空载阶跃时间

10ms

30 ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

25 N

25 N

Max.

-

谐振频率

0g

500 Hz

500 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

500g

350 Hz

350 Hz

±20%

-

运动方向刚度

2.5 N/μm

2.5 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

100N / 50N

100N / 50N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

0~+50 ℃

0~+50 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m

1.5 m

±10mm

Note 4

中空尺寸

66 x 66 mm

66 x 66 mm

-


外形尺寸(LxWxH)

150×150×30 mm

150×150×30 mm

-

-

重量

1400g

1400g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

铝、钢

铝、钢

-

-

Note尾缀带“S”的为闭环,尾缀为空为开环。

1. 指实际分辨率,为PCS211S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。



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