压电扫描台 ∣ PKVL150-100U

采用压电陶瓷驱动的Z向压电纳米定位扫描台,压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。

  • 运动方向: Z轴
  • 标称行程: 100μm(闭环)
  • 外形尺寸: 150×150×30 mm
  • 中空尺寸: 66 x 66 mm
  • 承载能力: 50N
  • 结构形式: 并联放大式
关闭
产品咨询
客服热线:021-54668263

规格型号1

PKVL150-100U-S

PKVL150-200U-S

PKVL150-300U-S

公差8

运动轴

Z

Z

Z

-

集成传感器

SGS

SGS

SGS

-

标称行程范围2@0~+120V

100 μm

200 μm

300 μm

±10%

最大行程范围2(@-20~+150V)

130 μm

240 μm

350 μm

±20%

分辨率3

1.5 nm

3.5 nm

5.0 nm

typ.

最小移动步长4

3.5 nm

7.0 nm

10 nm

typ.

线性误差

0.05%

0.05%

0.05%

typ.

重复定位精度(全行程)

0.05%

0.05%

0.05%

typ.

角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)

20 μrad

20 μrad

20 μrad

typ.

承载能力5

50 N

50 N

50 N

Max.

谐振频率(0g

320 Hz

280 Hz

250 Hz

±20%

运动方向刚度

2 N/μm

1.5 N/μm

1.0 N/μm

±20%

运动方向推力/拉力

60N / 20N

60N / 20N

60N / 20N

±20%

驱动机构

PZT

PZT

PZT

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

typ.

线缆长度6

1.5 m

1.5 m

1.5 m

±10mm

中空尺寸

66 × 66 mm

66 × 66 mm

66 × 66 mm

-

外形尺寸(长×宽×高)

150×150×30 mm

150×150×30 mm

150×150×30 mm

-

重量7

1100 g

1150 g

1200 g

±5%

PZT&Sensor连接器

LEMO

LEMO

LEMO

-

本体材质

铝、钢

铝、钢

铝、钢

-

注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。

1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。

2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。

3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。

4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。

5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。

6.更长的线缆长度请咨询。

7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。

图片关键词

图片关键词

电话咨询
邮件咨询
在线地图
QQ客服

沪公网安备 31010402000709号