压电&手动复合系统

压电&手动调节系统易于操作且价格合理,将手动测微分尺驱动的两轴线性运动平台与高分辨率,长距离纳米定位器相结合实现宽范围使用调节。进入粗定位台各轴的稳定阻滞力为精密纳米定位提供了可靠的基础。内置的纳米定位系统具有最低的轮廓,并在闭环控制下提供亚纳米分辨率

  • 运动方向: XYZ轴压电+XY手动
  • 标称行程: 100x100x100μm(压电)
  • 中空尺寸: RMS
  • 结构形式: 13mm x 13mm(手动)
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产品型号

PK3L140-100U

PK3L140-100U-S

公差

备注

压电部分

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

100 μm x 100 μm x 100 μm

100 μm x 100 μm x 100 μm

±5%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

130 μm x 130 μm x 130 μm

130 μm x 130 μm x 130 μm

±20%

-

分辨率

3.5 nm / 轴

3.5 nm / 轴

typ.

Note 1

重复定位精度

-

0.02% F.S. / 轴

typ.

-

线性度

-

  0.02% / 轴/ 轴

typ.

-

空载阶跃时间

2 ms

10ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

20 N

20 N

Max.

-

谐振频率

0g

(XY)600 Hz、(Z)520 Hz

(XY)600 Hz、(Z)520 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

200g

(XY)450 Hz、(Z)270 Hz

(XY)450 Hz、(Z)270 Hz

±20%

-

运动方向刚度

(XY)3.3 N/μm、(Z)0.5N/μm

(XY)3.3 N/μm、(Z)0.5N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

100N / 20N

100N / 20N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

0~+50 ℃

0~+50 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

中空尺寸(LxW)

RMS(可定制50 x 60 mm)

RMS(可定制50 x 60 mm)

Max.


外形尺寸(LxWxH)

140 ×140 ×23.2 mm

140 ×140 ×23.2 mm

-

-

重量

1000 g

1000 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

-

-

手调部分

运动自由度

X、Y

-

-

行程范围

13 mm x 13 mm

Max.

-

分厘卡分辨率

10 μm

-

-

重量

750 g

±50%

-

中心孔径

25.4 mm

-

-

垂直负载能力)

0.9 kg

Max.

-

水平负载能力

4.5 kg

Max.

-

外形尺寸(LxWxH)

160.8 mm x 154.9 mm x 25.4mm(含分厘卡尺寸

-

-

Note尾缀带“S”的为闭环,尾缀为空为开环。

1. 指实际分辨率,为PCM931S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为PCM931S压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp,则对应的压电平台的分辨率约0.8nm)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。

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