压电扫描台 ∣ PK3L150-100U

应用领域:显微镜、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选

  • 运动方向: X、Y、Z 轴
  • 标称行程: 100 x 100 x 15 μm(闭环)
  • 外形尺寸: 150 ×150 × 30 mm
  • 中空尺寸: 66 x 66 mm
  • 承载能力: 20N
  • 结构形式: 并联放大式
关闭
产品咨询
客服热线:021-54668263

产品型号

PK3L150-3XYZ

PK3L150-3XYZ-S

公差

备注

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

100 μm x 100 μm x 15 μm

100 μm x 100 μm x 15 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

130 μm x 130 μm x 20 μm

130 μm x 130 μm x 20 μm

±20%

-

分辨率

(XY)3.5 nm 、3.5 nm (Z)0.5nm

(XY)3.5 nm 、3.5 nm (Z)0.5nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.05% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.05%

typ.

-

空载阶跃时间

ms

ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

20 N

20 N

Max.

-

谐振频率

0g

(XYZ)200 Hz、200 Hz、1000Hz

(XYZ)200 Hz、200 Hz、1000Hz

±20%

Note 3

谐振频率

200g

(XYZ)140 Hz、140 Hz、900Hz

(XYZ)140 Hz、140 Hz、900Hz

±20%

-

运动方向刚度

3 N/μm

3 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

150N / 15N

150N / 15N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

中空尺寸

66 mm x 66 mm

66 mm x 66 mm

-


外形尺寸(LxWxH)

150 ×150 ×30 mm

150 ×150 ×30 mm

-

-

重量

1500 g

1500 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

-

-

Note尾缀带“S”的为闭环,尾缀为空为开环。

1. 指实际分辨率,为PCM231S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。



图片关键词

电话咨询
邮件咨询
在线地图
QQ客服

沪公网安备 31010402000709号