压电扫描台 ∣ PK2L150-100U

应用领域:显微镜、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选

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规格型号1

PFR150-XY(Z)100U-S

PFR150-XY(Z)200U-S

公差8

运动轴

X、Y

X、Y、Z

X、Y

X、Y、Z

-

集成传感器

SGS

SGS

SGS

SGS

-

标称行程范围2@0~+120V

80x80μm

80μm

200x200μm

200x200x200μm

±10%

最大行程范围2(@-20~+150V)

110x110μm

110μm

240x240μm

240x240x240μm

±20%

分辨率3

0.7 nm

0.7 nm

2.0 nm

2.0 nm

typ.

最小移动步长4

3.0 nm

3.0 nm

7.0 nm

7.0 nm

typ.

线性误差

0.1%

0.1%

0.15%

0.15%

typ.

重复定位精度(全行程)

0.05%

0.05%

0.05%

0.05%

typ.

角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)

10 μrad

10 μrad

10 μrad

10 μrad

typ.

承载能力5

10 N

10 N

10 N

10 N

Max.

谐振频率(0g

210 Hz

210 Hz

140 Hz

140 Hz

±20%

运动方向刚度

0.3 N/μm

0.3 N/μm

0.2 N/μm

0.2 N/μm

±20%

运动方向推力/拉力

40N / 20N

40N / 20N

40N / 20N

40N / 20N

±20%

驱动机构

PZT

PZT

PZT

PZT

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

typ.

线缆长度6

1.5 m

1.5 m

1.5 m

1.5 m

±10mm

中空尺寸

85×65  mm

85×65  mm

85×65  mm

85×65  mm

-

外形尺寸(长×宽×高)

217×150×20mm

217×150×20mm

217×150×20mm

217×150×20mm

-

重量7

1000 g

1100 g

1200 g

1250 g

±5%

PZT&Sensor连接器

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

-

本体材质

铝、钢

铝、钢

铝、钢

铝、钢

-

Note尾缀带“S”的为闭环,尾缀为空为开环。

1. 指实际分辨率,为PCM721S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。



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