压电扫描台 ∣ PFR150-XY(Z)200U

应用领域:显微镜、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选

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规格型号1

PFR150-XY(Z)100U-S

PFR150-XY(Z)200U-S

公差8

运动轴

X、Y

X、Y、Z

X、Y

X、Y、Z

-

集成传感器

SGS

SGS

SGS

SGS

-

标称行程范围2@0~+120V

80x80μm

80x80x80μm

200x200μm

200x200x200μm

±10%

最大行程范围2(@-20~+150V)

110x110μm

110x110x110μm

240x240μm

240x240x240μm

±20%

分辨率3

0.7 nm

0.7 nm

2.0 nm

2.0 nm

typ.

最小移动步长4

3.0 nm

3.0 nm

7.0 nm

7.0 nm

typ.

线性误差

0.1%

0.1%

0.15%

0.15%

typ.

重复定位精度(全行程)

0.05%

0.05%

0.05%

0.05%

typ.

角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转)

10 μrad

10 μrad

10 μrad

10 μrad

typ.

承载能力5

10 N

10 N

10 N

10 N

Max.

谐振频率(0g

210 Hz

210 Hz

140 Hz

140 Hz

±20%

运动方向刚度

0.3 N/μm

0.3 N/μm

0.2 N/μm

0.2 N/μm

±20%

运动方向推力/拉力

40N / 20N

40N / 20N

40N / 20N

40N / 20N

±20%

驱动机构

PZT

PZT

PZT

PZT

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

typ.

线缆长度6

1.5 m

1.5 m

1.5 m

1.5 m

±10mm

中空尺寸

85×65  mm

85×65  mm

85×65  mm

85×65  mm

-

外形尺寸(长×宽×高)

217×150×20mm

217×150×20mm

217×150×20mm

217×150×20mm

-

重量7

1000 g

1100 g

1200 g

1250 g

±5%

PZT&Sensor连接器

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

-

本体材质

铝、钢

铝、钢

铝、钢

铝、钢

-

注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。

1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。

2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。

3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。

4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。

5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。

6.更长的线缆长度请咨询。

7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。

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