超精密加工平台 ∣ PU1H80-030U

本系列产品可实现纳米级精密切割/纳米微加工等领域。 具有高刚性,即使在重载下也可以稳定定位。广泛应用于精细切割和研磨、FTS 工作定位 、高负荷物体的精确定位、FTS快刀伺服车削系统 、高速工具控制、精密金属加工、金刚石 钻头精密进给、旋削定位

  • 承载能力: X轴
  • 结构形式: 30μm
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产品型号

PU1H80-030U

PU1H80-030U-S

公差

备注

运动自由度

X

X

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

30 μm

30 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

40μm

40 μm

±20%

-

分辨率

1 nm

1 nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.1% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.1%

typ.

-

空载阶跃时间

1 ms

1.5 ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

50 N

50 N

Max.

-

谐振频率

0g

3000 Hz

3000 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

100g

1900 Hz

1900 Hz

±20%

-

运动方向刚度

10 N/μm

10 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

500 N / 200 N

500 N / 200 N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

外形尺寸(LxWxH)

80 ×90 ×35 mm

80 ×90 ×35 mm

-

-

重量

1700 g

1700 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

线缆长度

1.5m

1.5m

±10mm

-

本体材质

-

-


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