应用领域：3D图像、活细胞成像、自动对焦系统、表面分析、晶圆检查、超分辨率显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、干涉测量、半导体测量技术。 压电显微扫描台是采用压电陶瓷驱动,基于高精度无摩擦柔性铰链导向结构,专为高分辨率显微扫描系统应用设计的纳米定位平台,超大中心通孔和超薄外形设计,可更好的集成于显微扫描系统中。
产品型号 | PFR260-080U | PFR260-080U-S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | Z | Z | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 80 μm | 80 μm | ±10% | - | |
最大行程范围（@-20~+150V） | 110 μm | 110 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 3 nm | 3 nm | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
线性度 | - | 0.1% | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 5 ms | 30ms | typ. | Note 2 | |
承载能力（推荐） | 10 N | 10 N | Max. | - | |
谐振频率 | 0g | 250 Hz | 250 Hz | ±20% | Note 3 |
谐振频率 | 200g | 200 Hz | 200 Hz | ±20% | - |
运动方向刚度 | 1.5 N/μm | 1.5 N/μm | ±20% | - | |
运动方向推力/拉力 | 120N / 15N | 120N / 15N | ±20% | - | |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸(LxW) | 179×110mm | 179×110mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 260×164×25mm | 260×164×25mm | - | - | |
重量 | 730 g | 730 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - | - | |
