压电样本扫描台 ∣ PFR260-200U

应用领域:3D图像、活细胞成像、自动对焦系统、表面分析、晶圆检查

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产品型号

PFR260-200U

PFR260-200U-S

公差

备注

运动自由度

Z

Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

200 μm

200 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

240 μm

240 μm

±20%

-

分辨率

7 nm

7 nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.05% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.1%

typ.

-

空载阶跃时间

5 ms

30ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

10 N

10 N

Max.

-

谐振频率

0g

230 Hz

230 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

200g

160 Hz

160 Hz

±20%

-

运动方向刚度

1.5 N/μm

1.5 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

120N / 15N

120N / 15N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

中空尺寸(LxW)

179×110mm

179×110mm

-


外形尺寸(LxWxH)

260×164×25mm

260×164×25mm

-

-

重量

750 g

750 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

铝、

铝、

-

-


图片关键词

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