压电陶瓷纳米台

压电扫描台 ∣ PFR260-400U

压电扫描台 ∣ PFR260-400U

应用领域：3D图像、活细胞成像、自动对焦系统、表面分析、晶圆检查

运动方向： Z 轴
标称行程： 400 μm（闭环）
外形尺寸： 260 x 164 x 25 mm
中空尺寸： 179 x 110 mm
承载能力： 10N
结构形式：机构放大式

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产品型号		PFR260-400U	PFR260-400U-S	公差	备注
运动自由度		Z	Z	-	-
传感器类型		-	Strain Gage	-	-
标称行程范围（@0~+120V）		400 μm	400 μm	±10%	-
最大行程范围（@-20~+150V）		500 μm	500 μm	±20%	-
分辨率		14 nm	14 nm	typ.	Note 1
重复定位精度		-	0.05% F.S.	typ.	-
线性度		-	0.2%	typ.	-
空载阶跃时间		10 ms	50ms	typ.	Note 2
承载能力（推荐）		5 N	5 N	Max.	-
谐振频率	0g	200 Hz	200 Hz	±20%	Note 3
谐振频率	200g	140 Hz	140 Hz	±20%	-
运动方向刚度		1.5 N/μm	1.5 N/μm	±20%	-
运动方向推力/拉力		120N / 15N	120N / 15N	±20%	-
驱动方式		压电陶瓷	压电陶瓷	-	-
工作温度范围		-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-	-
线缆长度		1.5 m/轴	1.5 m/轴	±10mm	Note 4
中空尺寸(LxW)		179×110mm	179×110mm	-
外形尺寸(LxWxH)		260×164×25mm	260×164×25mm	-	-
重量		770 g	770 g	±5%	Note 5
PZT & Sensor连接器		LEMO	LEMO	-	Note 6
本体材质		铝、钢	铝、钢	-	-

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