压电扫描台 ∣ PFR260-400U

应用领域:3D图像、活细胞成像、自动对焦系统、表面分析、晶圆检查

  • 运动方向: Z 轴
  • 标称行程: 400 μm(闭环)
  • 外形尺寸: 260 x 164 x 25 mm
  • 中空尺寸: 179 x 110 mm
  • 承载能力: 10N
  • 结构形式: 机构放大式
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产品型号

PFR260-400U

PFR260-400U-S

公差

备注

运动自由度

Z

Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

400 μm

400 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

500 μm

500 μm

±20%

-

分辨率

14 nm

14 nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.05% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.2%

typ.

-

空载阶跃时间

10 ms

50ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

5 N

5 N

Max.

-

谐振频率

0g

200 Hz

200 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

200g

140 Hz

140 Hz

±20%

-

运动方向刚度

1.5 N/μm

1.5 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

120N / 15N

120N / 15N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

中空尺寸(LxW)

179×110mm

179×110mm

-


外形尺寸(LxWxH)

260×164×25mm

260×164×25mm

-

-

重量

770 g

770 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

铝、

铝、

-

-


图片关键词

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