压电微分头 ∣ PM1H13-020U

应用领域:显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用、半导体技术、光子、光纤定位

  • 运动方向: X / Z轴
  • 标称行程: 18 μm(闭环)
关闭
产品咨询
客服热线:021-54668263

产品型号

PM1H13-020U

PM1H13-020U-S

公差

备注

运动自由度

X/Z

X/Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

18 μm

18 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

20 μm

20μm

±20%

-

分辨率(压电)

0.6 nm

0.6 nm

typ.

Note 1

分辨率(微分头)

10 um

10 um

typ.


重复定位精度

-

 0.1% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.1% 

typ.

-

空载阶跃时间

1 ms

2 ms

typ.

Note 2

标称行程范围@测微螺杆

13 mm

13 mm

Max.

-

谐振频率

0g

2000 Hz

2000 Hz

±20%

Note 3

运动方向刚度

2 N/μm

2 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

20 N / 10 N

20/ 10 N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m / 

1.5 m / 

±10mm

Note 4

外形尺寸(LxWxH)

13*30*31mm

(不包含测微螺杆尺寸)

13*30*31mm

(不包含测微螺杆尺寸)

-

-

重量

100 g

100 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

线缆长度

1.5m/轴

1.5m/轴

±10mm

-

本体材质

-

-

Note

1. 指实际分辨率,为PCS211S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


图片关键词

电话咨询
邮件咨询
在线地图
QQ客服

沪公网安备 31010402000709号