压电扫描台 ∣ PK2L130-050U【定制】

应用领域:显微镜、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选

  • 运动方向: X、Y 轴
  • 标称行程: 50 μmx50 μm(闭环)
  • 外形尺寸: 130 ×130 ×30 mm
  • 中空尺寸: 56 x 56 mm
  • 承载能力: 20N
  • 结构形式: 并联放大式
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产品型号

PK2L130-050U

PK2L130-050U-S

公差

备注

运动自由度

X、Y

X、Y

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

50 μm x 50 μm

50 μm x 50 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

70 μm x 70 μm

70 μm x 70 μm

±20%

-

分辨率

2 nm / 轴

2 nm / 轴

typ.

Note 1

重复定位精度

-

 0.05% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.05%

typ.

-

空载阶跃时间

1 ms

5 ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

20 N

20 N

Max.

-

谐振频率

0g

750 Hz

750 Hz

±20%

Note 3

谐振频率

200g

350 Hz

350 Hz

±20%

-

运动方向刚度

3 N/μm

3 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

150N / 15N

150N / 15N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

中空尺寸(LxW)

56 x 56 mm

56 x 56 mm

-


外形尺寸(LxWxH)

130 ×130 ×30 mm

130×130×30 mm

-

-

重量

1800 g

1800 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

-

-

Note

1. 指实际分辨率,为PCM221S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为PCM221S压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp,则对应的压电平台的分辨率约0.8nm)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


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