压电物镜台 ∣ NanoF3D-600U

应用领域:超分辨率显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、干涉测量、半导体测量技

  • 运动方向: X、Y、Z 轴
  • 标称行程: (X、Y)450 μm、(Z)80 μm
  • 外形尺寸: 70 × 70  × 26 mm
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产品型号

NanoF3D-600U

NanoF3D-600U-S

公差

备注

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

(X、Y)450 μm、(Z)80 μm

(X、Y)450 μm、(Z)80 μm

±10%

-

最大行程范围(@-20~+150V)

(X、Y)600 μm、(Z)110 μm

(X、Y)600 μm、(Z)110 μm

±20%

-

分辨率

(X、Y)15 nm、(Z)3 nm

(X、Y)15 nm、(Z)3 nm

typ.

Note 1

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.2%

typ.

-

空载阶跃时间

5 ms

30 ms

typ.

Note 2

承载能力(推荐)

5 N

5 N

Max.

-

谐振频率

0g

(X、Y)150 Hz、(Z)190 Hz

(X、Y)150 Hz、(Z)190 Hz

±20%

Note 3

运动方向刚度

(X、Y)0.25 N/μm、(Z)0.5 N/μm

(X、Y)0.25 N/μm、(Z)0.5 N/μm

±20%

-

运动方向推力/拉力

30N / 5N

30N / 5N

±20%

-

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+12

-20~+12

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

外形尺寸(LxWxH)不含转接件

70 × 70  × 26 mm

70 × 70  × 26 mm

-

-

重量

350 g

350 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor连接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本体材质

钢、铝

钢、铝

-

-

Note

1. 指实际分辨率,为PCM941S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率12%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


图片关键词

数据手册
外形尺寸用户手册
三维模型技术手册

图片关键词NanoMotions-Z-NanoF3D-600U-Datasheet.pdf

图片关键词NanoMotions-Z-NanoF3D-600U-Customer-Drawing.pdf

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