压电旋转台 ∣ PT2K-100S

应用领域:扫描显微镜、晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、光学

  • 运动方向: θx、θz 轴
  • 标称行程: 0.3mrad
  • 外形尺寸: 70×70×37.5 mm
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产品型号

PT2K-100S

PT2K-100S-S

公差

备注

运动自由度

θx、θz

θx、θz

-

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

-

θz标称行程范围(@0~+120V)

62”[Sec] ≈ 0.3mrad

62”[Sec] ≈ 0.3mrad

±10%

-

θx标称行程范围(@0~+120V)

103”[Sec] ≈ 0.5mrad

103”[Sec] ≈ 0.5mrad

±10%


分辨率

θz)0.01μrad、(θx)0.016 μrad

θz)0.01μrad、(θx)0.016 μrad

typ.

Note 1

重复定位精度

-

0.1% F.S.

typ.

-

线性度

-

  0.2%

typ.

-

空载阶跃时间

2 ms

10 ms

typ.

Note 2

承载能力

50 N

50 N

Max.

-

谐振频率

0g

θz)1200 Hz、(θx)1600 Hz

θz)1200 Hz、(θx)1600 Hz

±20%

Note 3

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

-

-

工作温度范围

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-

-

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

Note 4

外形尺寸(LxWxH)

70×70×37.5 mm

70×70×37.5 mm

-

-

重量

355 g

355 g

±5%

Note 5

Note

1. 指实际分辨率,为PCM931S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为为PCM931S压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp,则对应的压电平台的分辨率0.003μrad)。

2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。

3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。

4. 线缆长度可定制。

5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。

6. 可定制连接器型号。

注:以上规格参数基于实验室环境测得。


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