压电柔性铰链位移台的好处

2020-03-07 10:00:45 NanoMotions 1065

柔性铰链平台采用机械柔性机构作为运动控制的基础。移动平台通过柔性铰链连接到平台的固定基座上。移动平台由压电致动器驱动实现所需的运动方式。通过柔性机构的变形提供引导运动。这种连接几乎没有摩擦和静摩擦,可产生平滑,平坦,可重复的运动。使用有限元分析可以优化柔性设计,从而获得较高的刚度和更大的负载能力。这种优化同时减少了寄生误差,例如平面外运动,旋转,倾斜和串扰。柔性铰链设计不会产生摩擦磨损,从而消除了日常维护问题。压电平台操作的生命周期中具有一致性,并具有数十亿次甚至更多次循环的潜力。驱动压电叠堆压电陶瓷产生的运动约为其总长度的0.1%,有限的行程和载物台尺寸要求使得必须设计一些具有放大系数的柔性机构,以增加载物台的行程范围。放大是整体平台变得更小,更经济,以适应各种应用的限制。

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尽管压电执行器具有很高的分辨率,但存在蠕变,滞后,非线性和可重复性低等缺点。采用闭环系统有助于通过使用传感器和控制器来实现所需位置来消除这些问题。闭环控制可提高响应速度并具有非常高的稳定性,并有助于在扫描时控制波形。闭环压电柔性平台可实现纳米定位应用中经常需要的线性可重复运动操作。


压电柔性位移台的优点

  • 可靠性高

  • 高速运动

  • 数十亿个周期

  • 精确的步进和稳定时间

  • 平稳运动

  • 具有纳米位置精度

  • 零摩擦

  • 可在恶略环境中操作

  • 低外形尺寸

  • 长期稳定性

  • 可以是非磁性的


压电柔性位移台可能存在的缺点

  • 速度受机械共振限制

  • 行程仅限于mm范围内

  • 有限的运动轴

  • 必须通电才能保持位置


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