超精密压电纳米定位系统的组件部分

2020-03-06 09:00:30 NanoMotions 706

压电纳米定位系统为实现许多超精密应用提供了诸多机会。压电纳米定位系统的使用已从原子力显微镜扩展到光学和多种新技术。 尽管有时选择一个系统可能很复杂,但三个主要组件协同工作以提供纳米级的运动,下列将简要讨论每个组件。


组件1 –压电平台

压电纳米定位平台可为系统提供实际运动。压电挠性平台具有多种不同的形状和尺寸,可用于各种应用。 有几种系列产品可选择,但是可根据某些应用需要改编或完全定制其压电平台。 纳米定位平台可以按轴或功能分类。 主要包括,X,Z,XY,XYZ和θXθY,θZ等运动轴。

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组件2 –闭环压电控制器或开环压电驱动器

压电控制器或压电驱动器为压电平台供电。 在闭环系统中,压电平台内部集成位置传感器,该传感器向压电控制器提供位置数据。 压电控制器处理此信息并即时进行更改以确保命令位置。 重要的是选择一个具有相应通道数量的控制器以匹配纳米平台。 例如,一个单通道控制器应与一个单轴压电平台配合,而一个三轴压电平台则需要一个三通道控制器。但是闭环产品不能相互兼容使用。

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组件3 –软件和系统界面

通常,纳米定位系统是较大设备的组成部分。 重要的是集成系统硬件,以使所有组件和谐地工作。 与纳动纳米压电设备通信以驱动压电平台的方式有多种。 最常见的是通过标配的外部信号0~+10V模拟输入控制。 用户还可以使用多个通信接口,例如通过USB,RS-232,以太网,RS-422。 每个数字通信控制的压电控制器都包含NanoMotions定位控制软件。 软件提供波形的发生器,定位控制,步进控制,相位功能设置等功能。 

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考虑使用纳米定位系统来实现应用操作时,确定每个组件的安装方式非常重要。 每个组件都有许多因素,合理的操作才能发挥压电平台精准的运动。

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