技术文献--如何理解压电纳米定位产品规格参数信息?

2019-09-17 11:12:53 9
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①运动自由度:压电平台的运动方向。

②传感器类型:压电平台内部传感器的反馈类型。包括SG/电容/LVDT传感器类型。

③行程范围:压电平台运动的最大位移,为闭环和开环标称/最大位移。(※开环,行程值是一个代表值。)

④分辨率:压电平台移动的最小步长,分辨率为闭环控制,它主要指DAC的分辨率,作为代表值表示。

⑤线性度:实际位置与一阶最佳拟合线(直线)之间的误差。线性度为闭环控制,作为代表值表示。

⑥重复定位精度:重复精度描述的是多次从相同方向到达同一个位置,所出现的误差。重复定位精度为闭环控制,作为代表值表示。

⑦运动方向刚度:运动方向的刚度表示作为一个典型的分析值。

⑧空载谐振频率:压电工作台摆动的特点是机械系统的谐振频率。我们给出的谐振频率是压电最低谐振频率。一般来说,系统的谐振频率越高,系统的稳定性越高,工作带宽越宽。

⑨阶跃时间:由初始值到达最终稳态值的时间,既从指令值的10%到90%的命令值的时间。阶跃响应时间反映系统的动态特性,且与步长无关。

⑩最大承载:正常操作下运动台最大携带负载,作为分析值表示。

⑪静电容量:压电元件自身电容值,作为一个典型值表示。

⑫材质(表面处理):压电平台本体材料和表面处理方法。

⑬重量:压电平台的重量是运动台的本体重量,包括电缆和连接器。

⑭出线长:表示压电台体出线到连接器的长度。


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