半导体技术

2020-03-08 11:35:25 181

为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。在半导体领域,纳动科技提供各种基于压电陶瓷产品的解决方案,包括纳米测量应用的压电纳米台、掩模对准的纳米对准系统、水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台及多维度精密定位平台。

摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。大规模集成电路制造中,印刷电路板上的布线密度越来越高。印刷电路板上线路的修复、线路连接质量和表面质量的评估、材料性能的检测等许多工序都需要纳米级定位系统来完成。纳米定位系统还可以在纳米加工和测量中用作扫描隧道显微镜的三维致动器;在集成电路制造中用作x 射线曝光机、图形发生器等设备中的超精密定位装置;在超精密加工中用作在刀具微进给装置;微型机械制造中用于微型机器的封装和装配、微小图形的修补等。

在半导体领域,使用基于压电陶瓷的解决方案,包括用于减震的长寿命压电元件,用于定位的超高性能大行程纳米定位平台。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台,用于纳米测量应用的压电柔性纳米台,用于掩模对准的纳米对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。电容纳米测量传感器可以测量亚纳米尺度的运动并具有很高的带宽,也大量应用在半导体产业中。


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