激光加工与激光光刻技术

2020-03-08 12:34:50 64

纳动科技系列平台:为激光微加工提供精密多自由度定位平台;为激光调焦,以及光速摆动调制提供快速反射镜;为激光切割提供Z向运动平台、为激光直写光刻提供定制多自由度运动平台和控制系统。随着微电子技术的不断发展,线条越来越细化,线宽已缩小到1.25mm 左右,甚至更细。但是线条不可能无限细化,因为当线宽尺寸趋近分子尺度时,由于量子力学效应的增强,除非直接对分子、原子进行装配,否则很难把装置做得更小。因此需要纳米定位系统,能象机械手那样捕捉住一个个原子或分子,并把它们组装到适当的位置。纳动科技定位产品所具备的亚纳米精度、极好的一致性、纳米至亚纳米级的平面度和直线度是这些领域最新技术突破的前提。

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