电容测微仪 -- NMT.C1

板卡版本设计可集成到客户特定的外壳中 外形尺寸为100 x 160毫米, 200微米量程的理想选择

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▶ 测量原理

NMT-C (电容式非接触位移传感器)是基于理想平板电容原理设计研发的,被测物体与传感器各自作为一个平板电极。给传感器一个持续稳定的交流电,交流电压的振幅变化与电容到被测物体之间的距离成正比。交流电经过解调,可以输出为模拟量信号。NMT-C 测量系统,分析平板电容的阻抗值, 该阻抗值与电容到被测物体的距离成正比关系。

▶ 电容式探头的使用

如果测量任务要求极高的精度水平,电容式传感器是最佳选择之一。电容式测量原理的精度,在诸多非接触式位移测量原理中名列前茅。电容式测量原理需要清洁的工作环境,避免介电常数ε的变化影响测量结果。电容式探头可以测量所有导电材料。如果在真空环境下和洁净室内使用,传感器和电缆被证明可以在洁净室和真空环境下使用。如果需要,极低的气体泄漏量使探头可以在超真空环境(UHV)下使用。电容式测量系统,配备了独特的主动降噪电缆和主动电场屏蔽环电容。测量信号的超高质量源于双层屏蔽结构。测量系统拥有几乎完美的电气保护,使高精度测量成为可能。除此以外,电场屏蔽环电极为需要超高稳定性,抗干扰以及精确的测量任务提供了一个完全均匀稳定的测量电场。

规格型号

NMT-C1

NMT-C1.OEM

NMT-C3

通道数量

1

1

3

量程范围

200 μm

200 μm

200 μm

传感器类型

capacitive

capacitive

capacitive

线性度

±0.1 µm

±0.1 µm

±0.1 µm

静态分辨率

0.0025 µm

0.0025 µm

0.0025 µm

动态分辨率(1Khz)

0.1 µm

0.1 µm

0.1 µm

传感器直径

10 mm

10 mm

10 mm

最小目标直径

10 mm

10 mm

10 mm

静态重复性

0.005 µm

0.005 µm

0.005 µm

信号温度稳定性

≤0.005 % FSO/°C

≤0.005 % FSO/°C

≤0.005 % FSO/°C

灵敏度

50 mV/µm

50 mV/µm

50 mV/µm

带宽(-3db)

2KHz

2KHz

2KHz

长期稳定性

≤0.04 % FSO/月

≤0.04 % FSO/月

≤0.04 % FSO/月

传感器线缆长度

1.6 m

1.6 m

1.6 m

传感器输出接口

BNC

欧式连接器端子

SMB

传感器输出电压

0~+10VDC(测量范围内)

0~+10VDC(测量范围内)

0~+10VDC(测量范围内)

输出噪声

3mVpp

-

3mVpp

工作温度范围

+10~+50

+10~+50

+10~+50

显示范围

-20V~+20V

-

-

工作电压

220VAC 50Hz±10%

±15 VDC/±50 mA

220VAC 50Hz±10%

外形尺寸

105×200×55mm

35×130×180mm

3U-9.5“

传感器连接器

OUDU

OUDU

OUDU

重量

520g

400g

2kg

 典型应用 

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 安装方式 

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数据手册
用户手册

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