电容测微仪 -- NM.C3

任何导电体的非接触式测量、极限分辨率为2.5nm 、带宽2 kHz(-3dB)、重复性5nm、紧凑型传感器设计(Φ10mm)、可集成在用户设备中、适用于200μm的测量范围

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型号

NS.C3

通道数

3

传感器类型

Capacitive

量程范围(max)

200 μm

参考距离

80 μm

线性度1

±0.1 μm

静态分辨率(极限)

0.0025 μm

动态1kHz分辨率

0.1 μm

传感器直径

10 mm

标称传感器线缆长度

1.6 m ± 0.5 mm

传感器延长线缆(特型)

2 m ± 0.5 mm

静态重复性

0.005 μm

信号温度稳定性2

<0.005% FSO/℃

长期稳定性

<0.04% FSO/month

灵密度

50 mV/μm

带宽(-3dB)

2 kHz

传感器输出电压

0 ... 10 VDC(测量范围内)

控制器工作温度范围

(非真空部分)

+10至+50 ℃

探头和线缆工作温度范围

(真空部分)

-50 to +150 °C

电容真空接插件3

SWH.0S.650.CTMSV(母对母)

供电方式

AC220V/50Hz

1. 系统与传感器匹配(出厂已校准)

2. FSO =满量程输出


 产品应用案例 

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 安装方式 

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