压电驱动/控制器

电容测微仪 -- NM.C3

任何导电体的非接触式测量、极限分辨率为2.5nm 、带宽2 kHz（-3dB）、重复性5nm、紧凑型传感器设计（Φ10mm）、可集成在用户设备中、适用于200μm的测量范围

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技术参数
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型号	NS.C3
通道数	3
传感器类型	Capacitive
量程范围(max)	200 μm
参考距离	80 μm
线性度¹	±0.1 μm
静态分辨率（极限）	0.0025 μm
动态1kHz分辨率	0.1 μm
传感器直径	10 mm
标称传感器线缆长度	1.6 m ± 0.5 mm
传感器延长线缆（特型）	2 m ± 0.5 mm
静态重复性	0.005 μm
信号温度稳定性²	＜0.005% FSO/℃
长期稳定性	＜0.04% FSO/month
灵密度	50 mV/μm
带宽（-3dB）	2 kHz
传感器输出电压	0 ... 10 V_DC（测量范围内）
控制器工作温度范围（非真空部分）	+10至+50 ℃
探头和线缆工作温度范围（真空部分）	-50 to +150 °C
电容真空接插件³	SWH.0S.650.CTMSV（母对母）
供电方式	AC220V/50Hz
1. 系统与传感器匹配（出厂已校准） 2. FSO =满量程输出

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